1 功能特点：

　　1.1 离子溅射法镀膜

　　1.2 脉冲式碳丝蒸发镀膜

　　1.3 冷冻干燥

　　2 性能参数：

　　2.1 极限真空度：≤2×10-6mbar(连续抽真空24h以上)

　　2.2 工作台控制：

　　三轴马达驱动旋转样品台+行星旋转台

　　2.3 离子溅射镀膜：

　　溅射电流：15-150mA，连续可调

　　溅射时间：1-1800s 可调

　　镀膜厚度：1-1000nm可调，

　　自动终止，检测精度0.1nm

　　2.4 碳丝蒸发法

　　蒸发模式：脉冲式碳丝蒸发

　　可自动检测和切换碳丝

　　镀膜厚度：1-100nm可调，自动终止，检测精度0.1nm

　　2.5 冷冻功能：

　　可在冷冻镀膜和常温镀膜间切换，液氮制冷，温度达-160℃;

　　具备冷冻干燥功能，样品形态基本保持完好

　　3 具体应用：

　　3.1  作为扫描电镜的制样设备，不但可以通过高真空状态下利用铂、铱、钨靶溅射或碳的蒸发镀膜实现镀膜颗粒的最小化(小于或等于1nm)，且通过多轴马达和行星旋转台实现膜的均匀度最大化。

　　3.2 解决了电镜观察时非导电样品表面荷电、辐射损伤等问题的基础上，实现了高分辨率下观察样品表面精细结构。

　　3.3加装了冷冻部件，具有冷冻干燥功能，填补了某些样品不能用临界点干燥法干燥的缺陷。

　　4 放置地点：

　　微生物所A-114D

　　5 负责人：

　　李春立010-64807416;E-mail: licl@im.ac.cn